“大長徑比復合納米探針可控制備及可溯源測量方法”
科技成果鑒定圓滿結束
2020年11月08日,中國計量測試學會組織有關專家對西安交通大學完成的“大長徑比復合納米探針可控制備及可溯源測量方法”科技成果進行了鑒定。
哈爾濱工業大學譚久彬院士、中國科學技術大學黃文浩教授、中國計量科學研究院高思田研究員、北京工業大學石照耀教授、天津大學邾繼貴教授、華中科技大學劉世元教授、河北工業大學張宗華教授作為鑒定委員參加了鑒定會。
鑒定會由譚久彬院士主持。鑒定委員會聽取了項目組人員所作的項目工作總結、技術研究報告、查新報告、應用和效益情況等;聽取了測試組組長匯報的測試報告以及用戶介紹的使用情況。同時,觀看了項目組錄制的現場視頻。
該項目由西安交通大學楊樹明教授團隊完成。項目針對復雜微納結構可溯源測量需求,開展了納米探針相關理論、方法和技術的創新研究,并研制出了具有獨立自主知識產權的碳納米管探針、納米光學探針、納米復合探針以及測量裝置,實現了小于10納米的特征尺度以及大深寬比微納結構測量, 目前在國內外尚未見報道。經鑒定會全體評審專家認真評審,一致認為:項目研究成果總體達到國際先進水平,其中碳納米管探針、納米光學探針和納米復合探針達到了國際領先水平。
該項目開發的相關技術已經應用于國家計量科學研究院等10余家單位,有力促進了我國納米測試計量領域的發展,具有顯著的社會效益和經濟效益。